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고객의 니즈에 맞게 다양한 신제품 개발에 주력하고 있습니다.

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PM장비

■ 스크러버 및 덕트 PM



· 스크러버 및 덕트 내 슬러지 및 비산먼지 청소 및 산업 재해 예방


· 스크러버 및 덕트內 청소 자동화를 통한 작업장 및 작업자 환경 개선


· 작업 환경에 최적의 저비용 고효율 청소를 위한 장비 구축



1. 작업 환경 개선



1) 스크러버 및 덕트 청소 자동화


스크러버 및 덕트 청소 자동화로 인력감축



2) 작업자 위험 환경 노출 방지


스크러버 및 덕트內 슬러지, 비산먼지등


발생된 독성 물질 노출방지 내 화학물질 노출방지



2. 저비용 고효율화



1) 스크러버 및 덕트 청소 자동화


기존 인력이 직접 청소


도입후 장비를 이용하여 청소함으로 위험성 대폭 감소


폐기물처리 방법 별도의 배출부로 손쉽게 분리 배출이 가능함



2) 청소인력 감소 비용 절감


폐기 자동화 인력 최소화

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■ 스크러버 PM 장비

  • - SIZE : 1500 * 800 * 1500mm
    - 스크러버 충진제 포집
    - 100L의 탱크용량

  • 주요사양

    1. 전원 : 삼상 380V/60hz
    2. 진공도 : 4300mmH20
    3. 전류 : 40A
    4. SIZE: 1500 * 800 * 1500mm
    5. 모터 : 링브로워 3상

    - PM장비 이동식으로 제작
    - 충전제 배출부를 별도로 마련하여 포집된 충전제 배출용의
    - 주름관을 이용하여 충진제 포집에 용의

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■ 덕트 PM 장비

  • - SIZE : 900 * 600 * 1100mm
    - 호스펌프를 이용하여 덕트 슬러지 PM 진행
    - 20L의 탱크용량, 폐기물 봉투 걸이

  • 주요사항

    1. 전원 : 단상 220V
    2. 호스펌프 : IH-32 (인테크)
    3. 호스 : EPDM으로 구성
    4. SIZE: 900 * 600 * 1100mm

    - 이동식 및 단상(220V)로 제작되어 편의성 향상
    - 호스펌프를 이용하여 덕트內 슬러지 PM 용의
    - 7M이상의 흡입관을 사용하여 높은곳의 덕트 PM 용의

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폐기웨이퍼 이송장치



■ 폐기웨이퍼 이송장치


WAPER 수거 효율 향상 및 산업 재해 예방

폐기WAFER 수거 자동화를 통한 작업장 및 작업자 환경 개선

작업 환경에 최적의 저비용 고효율 폐기WAFER 수거 장비 구축




1. 작업 환경 개선


1) WAPER 수거 업무 자동화

폐기 WAPER 수거 자동화로 인한 인력감축

2) 작업자 위험 환경 노출 방지

WAPER 및 FOUP 내 화학물질 노출방지

낙하물에 의한 작업자 안전 사고 예방



2. 저비용 고효율화


1) FOSB 내 폐기 WAPER 자동공급

FOUP -> scara robot

Scara robot -> 적재장치

적재장치 -> 폐기 FOSB

2) 상주인력 감소 비용 절감

폐기 자동화 -> 인력 최소화

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■ 폐기웨이퍼 이송장치 내부

  • 설비구성내부

    -SIZE : 1800 * 2300 * 1900mm
    -총 7개의 PORT 로 구성
    -지면에서 200mm 상승

    주요사항

    1. 총 7 PORT 로 구성
    2. 외부 FRAME SIZE: 1800 * 2800 * 1500
    3. 내부 음압 별도 배기 라인 설치

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■ 폐기웨이퍼 이송장치 외부

  • 설비구성외부

    - SIZE : 1800 * 2300 * 1900mm
    - 총 7개의 PORT 로 구성
    - 지면에서 200mm 상승
    주요사항

    1. 총 7 PORT 로 구성
    2. 외부 FRAME SIZE: 1800 * 2300 * 1900
    3. 내부 음압 별도 배기 라인 설치

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포장기



■ 포장기


1. 포장 속도 향상


1) 포장 속도 : 50초 이내

OHT Unloading  라벨 프린팅 완료

2) 패킹부 이동 로봇 컨베이어 구조 개선

이동 속도 향상

FOUP 이동 안정성 보증

Top Flange와 무관(다양한 FOUP 대응)


2. 장비 가동률 향상


1) 비닐 셋팅부 개선(에러감소)

그리퍼 구조->Vacuum패드

2) 컨베이어 구동부 개선(에러감소)

볼스크류 -> 실린더 구조로 개선

이동 속도 향상, 소음최소화



3. 운영 환경 최적화

1) 소모품 교체 최소화

그리퍼 제거

2) 유지보수 비용 절감

장비 구조 단순화

-> 에러 발생 최소화

3) 보호 커버 포장 작업

편의성 제공

공기 주입 최소화

-> 비닐 이동 방향 변경

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